Beleuchtungen: Ultraviolette Beleuchtung
Standardtechniken, die sichtbares Licht nutzen, ermöglichen es theoretisch, Merkmale bis zu einer Größe von ca. 0,5 µm (500 nm) zu erkennen und aufzulösen. Um kleinere Merkmale sichtbar zu machen, ist das Spektrum des sichtbaren Lichts nicht mehr ausreichend. Die Verringerung der Wellenlänge ist dann die praktischste und effektivste Lösung.
Durch den Einsatz von ultravioletter Beleuchtung in Kombination mit UV-empfindlichen Kameras können Merkmale im Submikronbereich erkannt werden. Besondere Aufmerksamkeit muss dabei auf die Auswahl der richtigen Optik und gegebenenfalls notwendige Sicherheitsvorkehrungen gelegt werden.
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